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《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2013	《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010
《生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范》GB50346-2011	《無菌醫(yī)療器具生產(chǎn)管理規(guī)范》YY0033-2000
《體外診斷試劑生產(chǎn)實施細則》2006	《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》2010
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》GB50457-2019	《醫(yī)藥工藝用水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》 GB 50913-2013
《藥品包裝材料生產(chǎn)廠房潔凈 - 室(區(qū))的測試方法》 YBB 0041-2004	《高效空氣過濾器》GB13554--2008
《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052--2009	《建筑照明設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》GB50034—2013
《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016—2014	《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境性能及合理性評價> GB/T 29469-2012
《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》 GB/T1883-2002	《潔凈廠房建筑構(gòu)造》GB 08J907
《民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》 GB 50736-2012	《通風(fēng)與空調(diào)工程施工規(guī)范》 GB 50738-2011
《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》 GB 50243-2016	《潔凈室用燈具技術(shù)要求》 GB 24461-2009
《潔凈室服裝 通用技術(shù)規(guī)范》 FZ/T 80014-2012	《潔凈環(huán)境電氣設(shè)備安裝》 GB 06D401-4
《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》 GB 50052-2009	《電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規(guī)范》 GB 50169-2006
《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB50019--2015	《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》 GB 50333-2013
《潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計與安裝》 GB 07K505	《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50472-2008
《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》 GB 50687-2011	《電子信息系統(tǒng)機房工程設(shè)計及安裝》 GB 09DX009

潔凈度級別	懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米
	靜態(tài)		動態(tài)
	≥0.5μm	≥5.0μm	≥0.5μm	≥5.0μm
A級	3520	20	3520	20
B級	3520	29	352000	2900
C級	352000	2900	3520000	2900
D級	3520000	29000	不作規(guī)定	不作規(guī)定

潔凈度級別	浮游菌	沉降菌	表明微生物
	cfu/m3	cfu/4小時	接觸碟（f55mm）	5指手套
			cfu/碟	cfu/手套
A級	＜1	＜1	＜1	＜1
B級	10	5	5	5
C級	100	50	25	—
D級	200	100	50	—

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（個/立方米空氣粒子）
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1000	237	102	35	8
ISO Class 4	10000	2370	1020	352	83
ISO Class 5	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO Class 6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO Class 7				352000	83200	2930
ISO Class 8				3520000	832000	29300
ISO Class 9				35200000	8320000	293000
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平

實驗室分級	處理對象
一級	對人體、動植物或環(huán)境危害較低，不具有對健康成人、動植物致病的致病因子。
二級	對人體、動植物或環(huán)境具有中等危害或具有潛在危險的致病因子，對健康成人、動物和環(huán)境不會造成嚴重危害。有有效的預(yù)防和治療措施。
三級	對人體、動植物或環(huán)境具有高度危險性，主要通過氣溶膠使人傳染上嚴重的甚至是致命疾病，或?qū)又参锖铜h(huán)境具有高度危害的致病因子。通常有預(yù)防治療措施。
四級	對人體、動植物或環(huán)境具有高度危險性，通過氣溶膠途徑傳播或傳播途徑不明，或未知的、危險的致病因子。沒有預(yù)防治療措施。

名稱	潔凈度級別	換氣次數(shù)（次/h）	與由室內(nèi)向外方向上相鄰相通房間的壓差（Pa）	溫度 ℃	相對濕度 %	噪聲dB(A)	最低照度 lx
一級	/	可自然通風(fēng)	/	16~28	≤70	≤60	300
二級	8~9	非實驗動物時可回風(fēng)≤50%8～10	-5～-10	18~27	30~65	≤60	300
三級	7-8	全新風(fēng)：10～15主要保護環(huán)境：可回風(fēng)≤30%	-15～-25	20~26	30~60	≤60	500
四級	7-8	全新風(fēng)：>10～15	-20～-30	20~25	30~60	≤60	500

產(chǎn)品 工序	空氣潔凈度等級	控制粒徑
半導(dǎo)體：拉單晶	6-8	0.5μm
切 磨 拋	5-7	0.3μm-0.5μm
清洗	3-5	0.3μm-0.5μm
外延	3-5	0.3μm-0.5μm
芯片制造：氧化 擴散 清洗 刻蝕 薄膜 離子注入 CMP	2-5	0.1μm-0.5μm
光刻	1-4	0.1μm-0.3μm
檢測	3-6	0.2μm-0.5μm
設(shè)備區(qū)	6-8	0.3μm-0.5μm
封裝：劃片 鍵合	5-7	0.3μm-0.5μm
封裝	6-8	0.3μm-0.5μm
TFT LCD:陣列板（薄膜 光刻 刻蝕 剝離）	2-5	0.2μm-0.3μm
成盒（涂復(fù) 摩擦 液晶注入 切割 磨邊）	3-6	0.2μm-0.3μm
模塊	4-6	0.3μm-0.5μm
彩膜板（C/F）	2-5	0.2μm-0.3μm
STN LCD	6-7 （局部 5級）	0.3μm-0.5μm
HDD:制造區(qū)	3-4	0.1μm-0.3μm
其它區(qū)	6-7	0.3μm-0.5μm
PDP：核心區(qū)	6-7	0.3μm-0.5μm
支持區(qū)	7-8	0.3μm-0.5μm
鋰電池：干工藝	6-7	0.5μm
其它區(qū)	7-8	0.5μm
彩色顯像管：涂屏 電子檢裝配 熒光粉	6-7	0.5μm
錐石墨涂覆 蔭罩裝配	8	0.5μm
表面處理	5-7	0.5μm
電子儀器 微型計算機裝配	8	0.5μm
高密磁帶制造	6-8 （局部5級）	0.5μm
印制版的照相 制版 干膜	7-8	0.5μm
光刀纖維：預(yù)制棒	6-7	0.3μm-0.5μm
拉絲	5-7	0.3μm-0.5μm
光盤制造	6-8	0.3μm-0.5μm
磁頭生產(chǎn)：核心區(qū)	5	0.3μm
清洗區(qū)	6	0.3μm
片式陶瓷電容 片式電阻等制造 絲印 流延	8	0.5μm
聲表面波器件制造：光刻 顯影	5	0.3μm-0.5μm
鍍膜 清洗 劃片 封帽	6	0.5μm

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• 十萬級光電通訊凈化車間
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• 印刷廠廢氣排放系統(tǒng)
• 30萬級制袋車間

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